半導體晶圓制造廠內(nèi)AMHS( 自動物料搬送系統(tǒng) - AMHS Automatic Material Handling System)的搬送一般分為Interbay和Intrabay。
捷螺系統(tǒng)針對AMHS通過AMR機器人來解決整廠的物料傳輸,即晶圓純運輸機器人負責Interbay,作為工序區(qū)間搬送系統(tǒng);復合型手臂機器人負責Intrabay傳輸及對接機臺作業(yè)。兩者可相互對接協(xié)作,應用于工序區(qū)間或工廠間運輸。更加全面實現(xiàn)全廠物料自動搬運。